機電自動化
大口徑分子泵及控制器
  • 來源:
  • 發布時間:2018-04-12

  復合型渦輪分子泵和渦輪分子泵在設計原理相同,也是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產生定向流動而抽氣的分子泵。其優點是啟動快、抗各種射線、耐大氣沖擊、無氣體存儲和解吸效應、無油蒸汽污染等。由于其壓縮比大,密封嚴格,占地空間小,同等壓縮比之下渦輪分子泵比油擴散泵所占空間小的多,加之它能夠獲得清潔的超高真空。因而渦輪分子泵廣泛運用于真空要求高的機械、電子行業。與渦輪分子泵不同的是,復合型渦輪分子泵加入渦輪轉子和渦輪定片,其空氣分子導引性能更強,比起 渦輪分子泵,它能在較低的轉速下可以獲得更高的空氣壓縮比,其結構更加穩定,震動程度減小,其機械結構更復雜、精密,但性能更好。

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